光刻技术(Lithography Technology):光刻一种精密的微细加工技术。常规光刻技术是采用紫外光作为图像信息载体,以光致抗光刻技术蚀剂为中间(图像记录)媒介实现图形的变换、转移和处理,最终把图像信息传递到晶片(主要指硅片)或介质层上的一种工艺。
镀膜工艺---Coating Technology:是指在真空条件下,采用物理轰击或者化学反应的方法将材料(俗称靶材或膜料)沉积在整个基材表面的一种技术。
电镀工艺是基材种子层光刻后,利用电解的原理,在露出金属的表面上,生长上一层金属或合金的过程,该工艺可以用来制作厚的导电层。
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